基于MAU和DCC的半導體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法與流程
本發(fā)明涉及半導體加工技術
背景技術：
半導體技術產品生產工序困難、復雜
在上述參數控制中溫度
、相對濕度參數的控制尤為困難，通常潔凈室要求溫度控制在23℃、相對濕度45％技術實現(xiàn)要素：
為了克服現(xiàn)有技術的不足
一種基于mau和dcc的半導體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)
優(yōu)選的，在mau室外新風濕度處理單元的第一表冷段和加濕段之間設置所述焓值傳感器h
。優(yōu)選的
，在mau室外新風濕度處理單元的第一表冷段和高效過濾段上設置溫濕度傳感器t。優(yōu)選的
，在mau室外新風濕度處理單元的初效過濾段和前中效過濾段之間、風機段和后中效過濾段之間、以及后中效過濾段和高效過濾段之間設置壓差開關p。壓差開關p具有現(xiàn)場檢測和遠傳功能
，實現(xiàn)對初中、高效過濾器的壓差檢測，為其更換提供基礎數據參考。優(yōu)選的，在mau室外新風濕度處理單元的預熱段上設置第一電動調節(jié)水閥v1
優(yōu)選的
優(yōu)選的，所述加濕段采用噴淋加濕方式實現(xiàn)
，噴淋加濕主機處于常開狀態(tài)，在夏季及過渡季洗滌空氣，在冬季噴溫水且等焓加濕或增焓加濕。采用上述恒溫恒濕控制系統(tǒng)的控制方法
，方法包括以下內容。室內參數動態(tài)監(jiān)測
，中控單元與壓差開關p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動調節(jié)水閥v通過信號控制線連接，以實時獲取潔凈室內的溫度和相對濕度值。繪制焓濕圖，根據室內溫濕度參數需求在焓濕圖上按照等焓線和等含濕量線劃分成四個氣象分區(qū)
、即空調工況區(qū)，其中空調工況i區(qū)為增溫加濕工況、空調工況ii區(qū)為冷卻加濕工況、空調工況iii區(qū)和空調工況iv區(qū)為冷卻除濕工況，且空調工況ii、iii、iv區(qū)均實現(xiàn)對空氣的洗滌。空調工況對應不同外界環(huán)境實現(xiàn)室內溫濕度需求控制；針對不同的氣象分區(qū)采用不同的空氣處理方式和控制方法，從而降低空調系統(tǒng)的運行能耗。mau空調箱以室內需求的溫度
、相對濕度計算得出的露點溫度為目標值，根據空調工況對應不同外接環(huán)境，對室外新風參數進行控制，進而與經過dcc處理的回風進行混合，從而達到潔凈室要求的室內溫濕度指標。優(yōu)選的
，當外界環(huán)境空氣處于空調工況i區(qū)時，對室外空氣進行升溫加濕處理：關閉第一表冷段的第二電動調節(jié)水閥v2、再熱段上的第三電動調節(jié)水閥v3，打開預熱段上的第一電動調節(jié)水閥v1優(yōu)選的
優(yōu)選的
，當外界環(huán)境空氣處在空調工況iii區(qū)和空調工況iv區(qū)時，對室外空氣需進行冷卻除濕處理：關閉預熱段的第一電動調節(jié)水閥v1，打開第一表冷段的第二電動調節(jié)水閥v2、第二表冷段上的第四電動調節(jié)水閥v4、以及加濕段處的噴淋加濕主機，根據第一表冷段處表冷盤管后的設定溫度調整第二電動調節(jié)水閥v2的開度，利用中溫冷凍水降低被處理空氣的溫度、含濕量，再通過加濕段處噴淋室對空氣的洗滌、凈化，根據送風露點調節(jié)內有低溫冷凍水的第二表冷段處第四電動調節(jié)水閥v4開度，進而使達到目標參數的新風送至潔凈室回風夾道底部時與經dcc干盤管處理后的回風均勻混合送至潔凈室。優(yōu)選的
，室內溫濕度需求控制全年以送風露點值作為控制目標值表征的濕度進行優(yōu)先控制，其中，送風露點的確定和修正公式為：其中：td為室外空氣在t溫度下
、f相對濕度下的露點溫度；e＝es*f*0.01
，e為t℃空氣在f％相對濕度下的水蒸氣壓力pae0為0℃空氣的飽和水蒸氣的分壓力
相比現(xiàn)有技術
附圖說明
圖1為本發(fā)明實施例中mau室外新風濕度處理單元結構圖
圖2為本發(fā)明涉及實施例中室外新風在焓濕圖上空調分區(qū)示意圖
圖中：1、初效過濾段
具體實施方式
為使本發(fā)明實施例的目的
一種基于mau和dcc的半導體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)包括mau室外新風濕度處理單元
參見圖1
進一步的，在所述mau室外新風濕度處理單元上設置焓值傳感器h
圖未示的
參見圖1，一個實施例中
具體實施例中，各電動調節(jié)水閥v采用但不限于具有線性調節(jié)特性的座閥調節(jié)閥
中控單元通過信號控制線與壓差開關p
其中
其中，壓差開關p具有現(xiàn)場檢測和遠傳功能
，實現(xiàn)對初中、高效過濾器的壓差檢測，為其更換提供基礎數據參考進一步的
采用上述恒溫恒濕控制系統(tǒng)的控制方法
室內參數動態(tài)監(jiān)測，中控單元與壓差開關p
繪制焓濕圖，參見圖2
其中，等焓線作為冬夏季轉換的分界線
，等含濕量線作為噴淋加濕、洗滌空氣的分界線。針對不同的氣象分區(qū)采用不同的空氣處理方式和控制方法
，從而降低空調系統(tǒng)的運行能耗。mau空調箱以室內需求的溫度、相對濕度計算得出的露點溫度為目標值
，根據空調工況對應不同外接環(huán)境，對室外新風參數進行控制，進而與經過dcc處理的回風進行混合，從而達到潔凈室要求的室內溫濕度指標。具體的
，當外界環(huán)境空氣處于空調工況i區(qū)時，對室外空氣進行升溫加濕處理：關閉第一表冷段4的第二電動調節(jié)水閥v2、再熱段7上的第三電動調節(jié)水閥v3，打開預熱段3上的第一電動調節(jié)水閥v1、加濕段5處溫水噴淋加濕主機，根據加濕段5前的焓值傳感器h的焓值控制預熱段3上第一電動調節(jié)水閥v1的開度，通過高效過濾段10下游出風段的溫濕度傳感器t溫度設定值控制再熱段7處第三電動調節(jié)v3的開度，進而使達到目標參數的新風送至潔凈室回風夾道底部時與經dcc干盤管處理后的回風均勻混合送至潔凈室。當外界環(huán)境空氣處于空調工況ii區(qū)時
，對室外空氣進行冷卻加濕處理：關閉預熱段3上的第一電動調節(jié)水閥v1，打開第一表冷段4的第二電動調節(jié)水閥v2以及加濕段5處的噴淋加濕主機，根加濕段5前的焓值傳感器h的焓值控制第一表冷段4的第二電動調節(jié)水閥v2的開度，避免開度過小、呈現(xiàn)空氣過熱的現(xiàn)象，導致室外新風經過噴淋加濕后出現(xiàn)過濕的現(xiàn)象(以期經過噴淋加濕后空氣的露點溫度達到目標值)，尚需再進行冷卻除濕處理，造成能源的極度浪費；進而通過高效過濾段10下游出風段的溫濕度傳感器t溫度設定值控制再熱段7處第三電動調節(jié)v3的開度，進而使達到目標參數的新風送至潔凈室回風夾道底部時與經dcc干盤管處理后的回風均勻混合送至潔凈室。當外界環(huán)境空氣處在空調工況iii區(qū)和空調工況iv區(qū)時，對室外空氣需進行冷卻除濕處理：關閉預熱段3的第一電動調節(jié)水閥v1，打開第一表冷段4的第二電動調節(jié)水閥v2
進一步的
，室內溫濕度需求控制全年以送風露點值作為控制目標值表征的濕度進行優(yōu)先控制，其中，送風露點的確定和修正公式為：其中：td為室外空氣在t溫度下
、f相對濕度下的露點溫度；e＝es*f*0.01，e為t℃空氣在f％相對濕度下的水蒸氣壓力pa
，es為t℃空氣在水面t>0℃或冰面t≤0℃的飽和水蒸氣壓力pa；e0為0℃空氣的飽和水蒸氣的分壓力，a
、b為系數，t>0℃時，取水面值a＝7.5、b＝237.3；t≤0℃時，取水面值a＝9.5、b＝265.5。其中，溫冷凍水的能效要低于中溫冷凍水的能效
，因此通過ai算法和控制策略的調整可以最大程度的實現(xiàn)空調系統(tǒng)的節(jié)能。進一步的，噴淋加濕主機常年開啟
，在冬季實現(xiàn)等焓(增焓)加濕的功能、其余季節(jié)實現(xiàn)洗滌空氣的作用。最后應說明的是：以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術方案
，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換咨詢熱線
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