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為什么電子廠的無塵車間需要恒溫恒濕
隨著人們生活質(zhì)量的提高,對其生產(chǎn)質(zhì)量的要求也越來越嚴格
相對濕度超過50%時
相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中,半導體無塵車間
總結(jié)電子行業(yè)無塵車間溫濕度的控制主要在于其生產(chǎn)工藝的要求。
在精密機械加工和計量等場合
但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性
在電子行業(yè)制造車間是最重要產(chǎn)生靜電的地方
首先主要是為了錫膏能工作在一個較好的環(huán)境
在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小
。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹因此,無塵車間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定
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