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半導(dǎo)體電子廠加濕器
半導(dǎo)體電子廠加濕器
隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展
其中
不管是什么半導(dǎo)體電子廠在制作各種半導(dǎo)體元器件或產(chǎn)品的過程中
為此
安詩曼QS-9半導(dǎo)體電子廠加濕器&QS系列潔凈濕膜加濕器是利用水的蒸發(fā)性
安詩曼QS-9半導(dǎo)體電子廠加濕器&QS系列潔凈濕膜加濕器是各種對濕度
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,半導(dǎo)體電子廠加濕設(shè)備的詳細(xì)信息!加濕器種類有很多,不同品牌加濕器價格及應(yīng)用范圍也會有所不同,而我們將會為您提供全方位的售后服務(wù)和優(yōu)質(zhì)的解決方案。安詩曼QS-9半導(dǎo)體電子廠加濕器&QS系列潔凈濕膜加濕器技術(shù)參數(shù):
名稱
加濕量
換風(fēng)量
適用空間
電源電壓
噪音
輸入功率
霧粒直徑
凈重
外型尺寸
型號
Kg/h
M3/h
M3
V/Hz
DB
W
μm
Kg
CM
QS-3
≥3
1000
150
220/50
30
130
≤5
25
60×40×118
QS-6
≥6
1300
300
220/50
35
220
≤5
30
60×40×120
QS-9
≥9
2400
450
220/50
40
350
≤5
36
78×35×172
QS-12
≥12
3500
600
220/50
60
450
≤5
47
78×36×174
QS-15
≥15
3500
800
220/50
60
580
≤5
56
120×50×180
◎計算公式:H=體積×P×溫度系數(shù)×(X2-X1)÷1000×換氣次數(shù)×損耗系數(shù)公式說明:H-所需加濕量(kg/h)、P-空氣密度(kg/m3)=1.2
◎濕膜加濕器的加濕量主要取決于濕膜的截面積
綜上所述:在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車間,由于塵埃吸附在芯片上
為此
,ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的一項重要內(nèi)容,靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產(chǎn)品的良率。靜電消除要在潔凈室設(shè)計上進(jìn)行總體考慮,除了設(shè)備接地(包括潔凈墻板和高架地板,辦公設(shè)備等)外,還要采用防靜電墻板、高架地板,人員要求穿著防靜電的潔凈服、潔凈鞋。對存在ESD危害風(fēng)險的設(shè)備和生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)安裝加濕器來進(jìn)行加濕。半導(dǎo)體電子廠要想在一年四季不同氣候條下都能夠正常生產(chǎn)和保證產(chǎn)品品質(zhì)的穩(wěn)定
,其生產(chǎn)車間內(nèi)部就必須維持一個穩(wěn)定的環(huán)境,特別是要對車間生產(chǎn)環(huán)境中的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個參數(shù)進(jìn)行嚴(yán)格的控制。在濕度方面,選用安詩曼加濕器來進(jìn)行有效調(diào)節(jié)的好處不僅僅表現(xiàn)在預(yù)防和消除靜電這個方面,還在降塵和除塵方面有著非常不錯的表現(xiàn)
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